โดยทั่วไปไมโครโฟน MEMS จะประกอบด้วยเซ็นเซอร์ไมโครคาปาซิทีฟ MEMS, วงจรแปลงสัญญาณแบบรวมขนาดเล็ก, ห้องเก็บเสียง และวงจรป้องกันการรบกวน RF หัวความจุขนาดเล็ก MEMS ...