تتكون ميكروفونات MEMS عمومًا من مستشعرات MEMS ذات سعات دقيقة، ودوائر تحويل مدمجة صغيرة، وغرف صوتية، ودوائر مضادة للتداخل للترددات اللاسلكية. رأس السعة الدقيقة MEMS...